Laboratorio di MEMS e microsensori
Attivitą
Le attività del laboratorio riguardano l’ideazione, il design e la caratterizzazione di sensori miniaturizzati di svariate quantità fisiche, nonché lo sviluppo di circuiti analogici di lettura, convertitori analogico-digitali e, quindi, l’integrazione degli stessi in sistemi elettronici. In particolare, a partire dal 2006 l’attività si è focalizzata sui sensori micro- e nano-elettromeccanici MEMS e NEMS (accelerometri, giroscopi, magnetometri, trasduttori ultrasonici, elettrometri, risonatori), sui sensori d’immagine CMOS, sui circuiti di front-end ad essi associati, e sulle relative tecniche di caratterizzazione e qualifica. Il laboratorio ha a disposizione tools di simulazione agli elementi finiti di sensori MEMS e dispositivi elettronici, nonché tools di simulazione circuitale a livello di schede e di circuiti integrati (ASIC). Il laboratorio dispone inoltre di strumentazione specifica per la caratterizzazione di MEMS multi-parametro (tavoli rotanti, generatori di campi magnetici, vibrometri a largo spettro…), e di strumentazione custom appositamente sviluppata per la caratterizzazione elettromeccanica di MEMS capacitivi. Il laboratorio ha possibilità di testare sensori su wafer (probe station) o singolati (wire bonding), sia aperti che in package. Dispone inoltre di banchi di caratterizzazione spettrometrica e colorimetrica di sensori di immagine o di colore. Il laboratorio ha capacità di progettazione di schede multistrato e di montaggio su di esse dei componenti, anche SMD. Le capacità di realizzazione in casa dei circuiti stampati è invece limitata a due livelli. L’interconnessione dei sensori con i circuiti (su scheda o integrati) avviene tramite wire bonding. I settori applicativi spaziano dall’elettronica consumer (sensori per dispositivi mobile, gaming, fotocamere digitali), all’elettronica per automotive (accelerometri e giroscopi per sistemi di sicurezza nei veicoli) e al campo biomedico (sensori impiantabili MEMS ultra-low-power). Le attività del laboratorio sono per la maggior parte inquadrate in contratti industriali di ricerca, accordi di collaborazione con istituzioni scientifiche, progetti europei, e hanno prodotto negli ultimi dieci anni una ottantina di pubblicazioni su riviste scientifiche internazionali e su atti di congressi internazionali, oltre a qualche brevetto.
Informazioni di servizio
Il laboratorio si trova presso l'edificio 24 (via Golgi n. 40) del DEIB. L’accesso è possibile durante le ore di apertura del Dipartimento.