Strumentazione per analisi ottica, elettrica ed elettromeccanica (MEMS)
Descrizione
- Strumentazione per analisi/ispezione ottica/elettrica di dispositivi o wafers: Microscopio ottico metallografico Stereo-microscopio Probe station con micromanipolatori e microscopio ottico Semiconductor parameter analyzer (Agilent B1500A)
- Strumenti di generazione/condizionamento/misura di segnali elettrici: Oscilloscopi Tektronix (dpo304, 2024, TDS520B, 784D) Analizzatore di spettro HP4195A Generatori di forme d’onda fino a 80 MHz (Agilent, Rigol DG4102) Schede di generazione/acquisizione di segnali analogici Elettrometro programmabile (Keithley 617) Lock-in amplifier 100 kHz (SR830DSP) Universal counter (Agilent 53131A)
- Strumenti di generazione di quantità fisiche di riferimento per calibrazione sensori: Rate table (velocità angolari, accelerazioni, +-3000 dps, 400 Hz) Generatore di campi magnetici triassiale (+-7 mT, 200 Hz), vibrometri a largo spettro (40 kHz, 10 g), Trasduttore di ultrasuoni Pompa a ultra alto vuoto Sfera integratrice ad alta uniformità della illuminazione sulla finestra d’uscita Motion controller micrometrico biassiale (Newport MM4005-2)
- Strumenti custom: Strumentazione per analisi elettromeccanica di sensori MEMS
